内容简介 版权页 前言 目录页 第0章 绪论 参考文献 第1章 基于AFM的纳米机器人面临的机遇和挑战 1.1 纳米机器人技术的介绍 1.1.1 基于原子力显微镜的纳米操纵的特点 1.1.2 基于原子力显微镜的常用纳米操纵的方法 1.1.3 AFM/SEM混合纳米机器人系统 1.2 机遇和挑战 1.2.1 2维纳米操作的应用 1.2.2 纳米操作的效率 1.2.3 操纵自动化 1.3 总结 参考文献 第2章 基于AFM纳米机器人系统力标定和温漂补偿问题 2.1 AFM法向力和横向力标定 2.1.1 法向力标定 2.1.2 横向力标定 2.1.3 激光测力系统灵敏度的标定 2.1.4 AFM的非线性力标定方法 2.2 原子力显微镜力检测串扰补偿 2.2.1 串扰的补偿方法 2.2.2 串扰补偿的一个实例研究 2.3 基于AFM纳米操纵的热漂移补偿 2.3.1 用贝叶斯过滤来跟踪漂移 2.3.2 实验结果 2.4 结论 参考文献 第3章 基于AFM操作的微纳观力学 3.1 微/纳米世界的特殊力学现象 3.1.1 范德华力 3.1.2 毛细力 3.1.3 静电作用力 3.1.4 弹性接触力 3.2 单探针“推”、“拉”接触操作过程中的纳米力学 3.2.1 问题定义 3.2.2 摩擦力测试方法 3.2.3 微/纳米颗粒自动推动策略 3.2.4 实验 3.3 3维纳米拾取和释放操作的纳米力学 3.3.1 问题的提出 3.3.2 纳米抓取接触力学 3.3.3 不同夹持器的纳米抓取 3.3.4 纳米探针镊子实验 3.3.5 探针变形量计算 3.4 结论 参考文献 第4章 基于AFM操作的遥操作控制 4.1 介绍 4.2 用AFM的双边缩放遥操作控制 4.2.1 遥操作系统结构 4.2.2 性能评估 4.2.3 直接力反馈 4.2.4 力-位置控制 4.2.5 基于无源性的双边控制 4.2.6 结论 4.3 实验平台 4.3.1 AFM进行力测量 4.3.2 实验材料 4.4 基于AFM的1维触觉反馈 4.4.1 直接力反馈控制作用下的逼近-回缩实验 4.4.2 力-位置控制策略下的逼近-回缩实验 4.4.3 无源控制策略下的逼近—回缩实验 4.4.4 结论 4.5 具有力反馈的2维遥微操作 4.5.1 触觉反馈的测定 4.5.2 实验结果 4.5.3 结论 4.6 采用AFM实现3维遥操作触觉反馈 4.6.1 3维作用力解耦 4.6.2 自适应摩擦力模型 4.6.3 实验结果 4.6.4 结论 4.7 基于触觉反馈的微球3维装配 4.7.1 实验装置 4.7.2 3维微装配过程 4.7.3 辅助夹持对准操作 4.7.4 触觉反馈辅助下的抓取-释放操作 4.7.5 构建双层金字塔结构 4.7.6 附注 4.8 结论 参考文献 第5章 基于AFM的自动化纳米操作 5.1 2维自动化微操作 5.1.1 问题的定义 5.1.2 图像处理 5.1.3 参数估计 5.1.4 可控的推、拉操作 5.1.5 用于形成图样的路径规划 5.1.6 装配 5.2 基于纳米镊子的3维自动化微操作 5.2.1 系统结构 5.2.2 操作方案 5.2.3 自动化抓取-释放操作的流程 5.2.4 任务规划 5.2.5 抓取操作点的搜索与碰撞检测 5.2.6 实验结果与讨论 5.3 基于AFM的3维纳米操作 5.3.1 系统结构 5.3.2 操作流程 5.3.3 纳米级抓取-释放操作 5.4 扫描/操作并行的纳米操作技术 5.5 基于并行成像/操作力显微镜的高效自动化纳米操作 5.5.1 并行成像/操作力显微镜的系统设置 5.5.2 自动化并行操作策略 5.5.3 并行纳米操作的自动控制 5.5.4 实验结果 5.6 结论 参考文献 第6章 AFM纳米机器人系统的应用 6.1 多尺度微纳操作与装配的柔性机器人系统 6.1.1 基于AFM的柔性机器人系统 6.1.2 3维微操作的系统结构 6.1.3 3维纳米操作的系统结构 6.1.4 并行纳米操作的系统结构 6.1.5 实验结果 6.2 双探针纳米镊子实现一维纳米结构原位剥离力测试 6.2.1 方法 6.2.2 实验结果与讨论 6.3 结论 参考文献 术语索引 ..更多